硅基OLED三大工艺是什么?有哪些特点?硅基OLED产品生产的技术工艺中存在三大重要生产环节，同时也是三个技术上的难点。
1、阳极制作工艺
阳极制作工艺的优劣对于提升产品亮度及良品率具有非常重要的意义。阳极像素点制作系将金属阳极制作在硅片上，主要包括光刻、金属镀膜工序。光刻工序将显示器像素图形从掩膜版转移到硅片上，确定显示器尺寸大小和对位标记。金属镀膜工序完成金属阳极的蒸镀，起到连接硅片驱动电路和OLED有机发光层的作用。
硅基OLED项目结合了半导体及面板显示两个领域。在整个硅基OLED微型显示器的制备过程中，阳极像素制备是基础。硅基OLED微型显示器像素点尺寸及像素间距较小，对于显示器像素点的制作工艺有很高的要求。硅基OLED微型显示器的像素点制作以光刻为主要技术手段，根据单元显示器像素结构排布图形及结构，制备满足产品分辨率的像素图形。光刻技术直接影响到显示器的像素点结构和质量，进而影响硅基OLED微型显示器的光电特性和寿命。单独使用半导体行业工艺或传统OLED行业工艺均难以实现稳定可靠的硅基OLED阳极制备。
2、蒸镀工艺
有机发光材料镀膜系在制作完阳极的硅片上蒸镀空穴传输层、发光层、电子传输层、阴极层在内的多层有机发光材料薄膜，是影响显示器产品性能的关键工序。蒸镀工艺将多层有机发光材料依次蒸镀至驱动背板晶圆，从而得到能够自发光的OLED器件结构。其有机发光材料的选择、蒸镀膜厚、结构的搭配直接决定了硅基OLED产品的亮度、色域、画面的均匀性等性能指标。
3、薄膜封装工艺
有机材料在大气环境中遇水容易失效，产品屏体密封效果决定产品可靠性以及产品品质。薄膜密封是指在硅片表面生成致密的薄膜，以达到阻挡水分子、氧气分子的作用，属于OLED微型显示器的关键工序，成膜质量关系到整个OLED微型显示器的寿命和良品率。密封工艺是影响全球OLED量产的重大关键技术难题。OLED一旦接触潮气和空气，有机发光膜将失去发光功能，如何根据OLED材料的特性，设计高效、低缺陷、高密度的薄膜密封技术来对OLED微型显示器进行有效密封，是制备硅基OLED微型显示器的关键问题。
